• 主動(dòng)隔振帶寬：0.5-150Hz
• 臺(tái)面穩(wěn)定性：≤±5um
• 傳遞率：≤-20dB@2Hz，≤-35dB@5Hz，≤-50dB@10Hz
• 水平向電機(jī)峰值推力高達(dá)270N
• 系統(tǒng)支持最大功率400W
• 臺(tái)面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm
NTBK：0.1mm/600mm×600mm
大理石臺(tái)面：0級(jí)、1級(jí)、2級(jí)、3級(jí)可選（GB/T20428-2006）
• 臺(tái)面厚度：100/200/300mm
• 孔徑：可定制孔徑
• 孔距：可定制孔距或特殊位置打孔
• 標(biāo)品單腿最大承載能力：1800Kg
命名規(guī)則
選型表：（M、K、P參考具體臺(tái)面信息）
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產(chǎn)品型號(hào)
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整體規(guī)格（L*W：mm）
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臺(tái)面上負(fù)載要求（kg）
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臺(tái)面厚度（mm）
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隔振器規(guī)格
(L*W*H:mm)
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單腿重量
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ZVI-VB-30-15M
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3000×1500
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100-2000
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400
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1060×900×202
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40kg
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ZVI-VB系列真空主動(dòng)隔振平臺(tái)尺寸圖：
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型號(hào)
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尺寸（ mm）
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L
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W
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T
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H1
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H2
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ZVI-VB-30-15M
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3000
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1500
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400
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900
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500
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相關(guān)案例：
• 光刻機(jī)：確保光刻膠的精確涂布和曝光。
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