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一體式主動(dòng)隔振平臺(tái)

一體式隔振系統(tǒng),占用空間小、高集成度的主動(dòng)隔振平臺(tái)

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產(chǎn)品概述

FSD快速整定平臺(tái)系列主動(dòng)隔振系統(tǒng)

特點(diǎn):

• 一體式隔振系統(tǒng),占用空間小

• 單向最高提供1280N推力

• 6自由度主動(dòng)隔振

• 主動(dòng)隔振帶寬低至0.8Hz起

• 自研控制系統(tǒng)

• 零部件國(guó)產(chǎn)化

型號(hào)

FSD100A

FSD100B

外形尺寸

1000×700×150

1020×875×166

單腿自重

138kg

211kg

主支撐體

鋼彈簧

4腿系統(tǒng)承載

重量

1000kg

1000kg

垂向傳遞率

≤-3dB@2Hz

≤-12dB@5Hz

≤-25dB@10Hz

≤-3dB@2Hz

≤-12dB@5Hz

≤-25dB@10Hz

水平向電機(jī) 峰值推力

640N

1280N

適用領(lǐng)域

先進(jìn)量檢測(cè)設(shè)備


PAD一體式平臺(tái)系列主動(dòng)隔振系統(tǒng)
 
 

PAD一體式平臺(tái)系列主動(dòng)隔振系統(tǒng)特點(diǎn):

• 4個(gè)隔振單元組成一體式隔 振系統(tǒng),便攜安裝

• 支撐單元多樣化,彈簧、 氣浮、磁浮可選

• 6自由度主動(dòng)隔振

• 主動(dòng)隔振帶寬低至0.8Hz起

• 自研控制系統(tǒng)

• 零部件國(guó)產(chǎn)化

 

型號(hào)

PSQ-BHJI

PSQ-BLFT

PFQ-BTFS

miniPSQ-

BHDD

PSQ-DHLL

外形尺寸

1060×900×200

2020×1370×295

2000×2000×390

400×450×280

定制

自重

121kg

2400kg

5000kg

17kg

130kg*

主支撐體

鋼彈簧

鋼彈簧

空氣彈簧

鋼彈簧

鋼彈簧

系統(tǒng)承載重量

600-1100kg

1200-2000kg

2000-2500kg

50-110kg

600-1100kg

垂向傳遞率

≤-12dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@5Hz

≤-15dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@10Hz

≤-15dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@10Hz

≤-10dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@10Hz

≤-20dB@2Hz

≤-35dB@5Hz

≤-40dB@10Hz

適用領(lǐng)域

SEM 、TEM 、ACTEM等各類電鏡,桌面式精密儀器等