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目前常用的膜厚控制方法有多種,例如石英晶體振蕩法,單波長(zhǎng)極值法,寬光譜掃描法等方法。寬光譜掃描法可以提供在較寬波長(zhǎng)范圍內(nèi)監(jiān)控非規(guī)整膜系,而極值法一般要求膜層為規(guī)整膜層。因此寬光譜掃描方法,開(kāi)始逐漸應(yīng)用到膜厚控制的應(yīng)用當(dāng)中。
均勻光源是可調(diào)光源一個(gè)重要分支,一般可用于探測(cè)器如(CCD,CMOS)的響應(yīng)均勻性測(cè)試等光電領(lǐng)域測(cè)試。
近日,中科院長(zhǎng)春應(yīng)化所柔性壓力傳感器小組利用卓立漢光標(biāo)準(zhǔn)電動(dòng)滑臺(tái),自主研發(fā)、搭建出一款柔性壓力傳感器測(cè)試設(shè)備,該設(shè)備很好地滿(mǎn)足了柔性傳感器研制過(guò)程中表征數(shù)據(jù)的采集問(wèn)題。
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