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NXP多維度光學(xué)耦合臺(tái)

NXP系列多維度光學(xué)耦合臺(tái)包含六軸耦合臺(tái)和三軸耦合臺(tái)，可用于其他產(chǎn)品的手動(dòng)驅(qū)動(dòng)和電動(dòng)驅(qū)動(dòng)。它適用于光纖、波導(dǎo)、光電封裝和任何高分辨率對準(zhǔn)或定位應(yīng)用，包括通用實(shí)驗(yàn)室任務(wù)。創(chuàng)新的柔性設(shè)計(jì)與模塊化驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)相結(jié)合，提供了卓越的性能和靈活性。產(chǎn)品內(nèi)部沒有導(dǎo)軌軸承，平行撓性設(shè)計(jì)確保滑臺(tái)連續(xù)的運(yùn)動(dòng)和長期的穩(wěn)定性.
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產(chǎn)品概述
說明：
NXP 系列多維度光學(xué)耦合臺(tái)包含六軸耦合臺(tái)和三軸耦合臺(tái)，以及可用于其他產(chǎn)品的手動(dòng)驅(qū)動(dòng)和電動(dòng)驅(qū)動(dòng)。它適用于光纖、波導(dǎo)、光電封裝和任何其他高分辨率對準(zhǔn)或定位應(yīng)用，包括通用實(shí)驗(yàn)室任務(wù)。創(chuàng)新的柔性設(shè)計(jì)與模塊化驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)相結(jié)合，提供了卓越的性能和靈活性。
NXP 系列六軸耦合臺(tái)的位移臺(tái)在移動(dòng)平臺(tái)前都有不銹鋼探針，標(biāo)記所有旋轉(zhuǎn)軸的公共支點(diǎn)，所有旋轉(zhuǎn)軸都具有公共支點(diǎn)，可以減少系統(tǒng)的對準(zhǔn)時(shí)間。
NXP 系列多維度光學(xué)耦合臺(tái)產(chǎn)品內(nèi)部沒有導(dǎo)軌軸承，平行撓性設(shè)計(jì)確保滑臺(tái)連續(xù)的運(yùn)動(dòng)和長期的穩(wěn)定性，非常適用于亞微米級分辨率的應(yīng)用。對于納米定位應(yīng)用，提供內(nèi)置壓電驅(qū)動(dòng)器的版本。這種結(jié)構(gòu)相對于滑臺(tái)組維的方式，穩(wěn)定性有極大的提高，在溫度較為恒定的條件下，產(chǎn)品適用于光纖對準(zhǔn)等需要保持靜態(tài)粘接的應(yīng)用中。
NXP 系列多維度光學(xué)耦合臺(tái)可進(jìn)行手動(dòng)驅(qū)動(dòng) / 電動(dòng)驅(qū)動(dòng)快換，可滿足空間中不同維度使用混裝驅(qū)動(dòng)器。

命名規(guī)則

注 ：

1.三軸系列無 L/R 尾綴

2. 設(shè)備不包含驅(qū)動(dòng)器，需單獨(dú)采購 (DNXP-M/A),可以按需求混裝驅(qū)動(dòng)

NXP多維度光學(xué)耦合臺(tái)選型表

六軸高精度耦合臺(tái)
 

型號

NXP-6M

NXP-6NP

行程

X、Y、Z直線行程為4mm。Rx、Ry、Rz(擺動(dòng)、俯仰和偏轉(zhuǎn))行程為4°(70mrad)

傳動(dòng)比

X

1:1.5

X軸和Y軸驅(qū)動(dòng)和壓電傳動(dòng)比相同，為1:1.5

驅(qū)動(dòng)器和壓電促動(dòng)器每平移1μm,位移臺(tái)平移1.5μm

Y

Z

1:1

驅(qū)動(dòng)的傳動(dòng)比為1:1;壓電傳動(dòng)比1:1.5

分辨率

見驅(qū)動(dòng)

旋轉(zhuǎn)中心

公共旋轉(zhuǎn)中心；最大串?dāng)_100 μm

壓電

規(guī)格

無

閉環(huán)壓電

行程

典型值19μm

分辨率

X、Y、Z 1nm/Rx、Ry、Rz0.018μrad

最大負(fù)載

1kg

共振頻率

>130 Hz(±10%)

熱穩(wěn)定性

1μm/℃
 
三軸高精度耦合臺(tái)

型號

NXP-3M

NXP-3NP

行程

4  mm

傳動(dòng)比

1:1

分辨率

見驅(qū)動(dòng)

串?dāng)_

≤100μm

頂板平行度

<100μm

壓電

規(guī)格

無

閉環(huán)壓電

行程

典型值19μm

分辨率

X、Y、Z 1nm

最大負(fù)載

1kg

共振頻率

>130 Hz(±10%)

熱穩(wěn)定性

1um/℃
 
驅(qū)動(dòng)

型號

DNXP-M

DNXP-A

驅(qū)動(dòng)類型

手動(dòng)

電動(dòng)

行程

13mm

與NXP系列設(shè)備配合使用后行程4mm

8mm

與NXP系列設(shè)備配合使用后行程4mm

分辨率

粗調(diào)10μm,微調(diào)0.5 μm

整步125μm/半步0.625μm

電機(jī)

無

35步進(jìn)電機(jī)，步距角1.8°

限位

內(nèi)置限位開關(guān)

定位精度

雙向重復(fù)性為5.0μm
 
NXP多維度光學(xué)耦合臺(tái)尺寸圖